當(dāng)廢氣進(jìn)入等離子光氧一體機(jī)凈化設(shè)備內(nèi)時，先經(jīng)過等離子體化學(xué)反應(yīng)過程，即電子首先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離， 從而成為活性基團(tuán)；之后這些活性基團(tuán)與分子或原子、活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。(在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成無毒無害或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。)
 
然后部分有機(jī)廢氣再通過破壞、分解、催化氧化把污染氣體分解為無毒無害無味氣體。采用紫外線光線強(qiáng)裂污染氣體分子鏈，改變物質(zhì)分子結(jié)構(gòu)，將高分子污染物質(zhì)裂解、氧化成為低分子無害物質(zhì)，如水和二氧化碳等。O3強(qiáng)催化氧化劑進(jìn)行廢氣催化氧化, 可有效地殺滅細(xì)菌，將有毒有害物質(zhì)破壞且改變成為低分子無害物質(zhì)。在紫外線光刺激催化劑涂層產(chǎn)生活性，強(qiáng)化催化氧化作用。在分解過程中產(chǎn)生高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負(fù)電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧。UV O2→O- O*(活性氧)O O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對有機(jī)物具有極強(qiáng)的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有極強(qiáng)的清除效果。O3也為強(qiáng)催化氧化劑進(jìn)行廢氣催化氧化, 裂解惡臭氣體中細(xì)菌的分子鍵，破壞細(xì)菌的核酸（DNA），再通過臭氧進(jìn)行氧化反應(yīng)，徹底達(dá)到脫臭及殺滅菌的目的。
 
2. UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，因游離氧電子正負(fù)不平衡所以需要和氧分子結(jié)合，形成臭氧，由于臭氧對有機(jī)物有極強(qiáng)的氧化作用，所以對惡臭氣體以及異味有很強(qiáng)的清除效果；UV光束也可裂解廢氣中細(xì)菌分子，破壞細(xì)菌細(xì)胞核內(nèi)核酸（DNA），通過臭氧反應(yīng)達(dá)到除臭與殺菌的作用。
 
光氧設(shè)備中還會存在一塊光觸媒版，光觸媒是一種以納米級二氧化鈦為代表的具有光催化作用的光半導(dǎo)體材料的總稱，它涂布于基材表面，在光線作用下，產(chǎn)生催化降解作用：能夠有效降解空氣中有毒有害氣體；能有效殺滅多種細(xì)菌，并能將細(xì)菌釋放的毒素分解及無害化處理；同時可以釋放一定濃度的負(fù)氧離子，進(jìn)行除臭、 殺菌作用，達(dá)到凈化空氣的效果。